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1、 《气体供应系统及其气体输送方法、等离子体处理装置》是中微半导体设备（上海）股份有限公司于2019年12月6日申请的专利，该专利公布号为CN112928008A，专利公布日为2021年6月8日，发明人是连增迪、左涛涛、吴狄。